美國應用材料（AMAT）于當?shù)貢r間2011年3月7日發(fā)布了等離子CVD裝置“AKT-20K PX”，用于制造智能手機和平板終端使用的高精細顯示屏。該裝置可制造有源矩陣型有機EL面板和液晶面板使用的低溫多晶硅TFT陣列。支持第5.5代的1300mm×1500mm基板。另外，該基板尺寸與韓國三星移動顯示器在2011年開始量產(chǎn)的有機EL面板工廠中使用的玻璃基板相同。

用于低溫多晶硅TFT面板的等離子CVD裝置“AKT-20K PX”

AMAT公司副總裁兼平板顯示事業(yè)部總經(jīng)理Tom Edman表示：“此次的等離子CVD裝置已經(jīng)面向主要顯示屏廠商供貨多臺”。目前，智能手機使用4～5英寸的有機EL面板。關于有機EL，AMAT表示：“預計今后新一代平板終端將采用7～12英寸的面板，為了滿足這種需求，需要大幅擴大產(chǎn)能”。

AMAT公司預定在上海舉辦的“FPD China 2011”上展出此次發(fā)布的等離子CVD裝置AKT-20KPX。